昨天刷屏的国产光刻机报道背后的真相

 载自""，作者 昨天，又一篇文章刷爆了半导体人的朋友圈。 据军报记者成都报道，国家重大科研装备研制项目"超分辨光刻装备研制"29日通过验收，这是我国成功研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备。该光

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