2019年5月28日星期二

光刻机之战

 航空发动机一直被誉为人类顶尖工业皇冠上的明珠。但最近十年,不断挑战物理学极限的半导体光刻机,大有挑战明珠之王的趋势。 航发是在极端高温高压下挑战材料和能量密度的极限,而光刻是在比头发丝还细千倍的地方



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